金相测量显微镜主要用于LED封装、半导体封装、微电子行业、精密器件等高精度的尺寸及外形精密测量,如半导体行业:对金球直径测量、金球厚度尺寸测量、线弧高度测量、金线直径测量、芯片尺寸测量、支架尺寸测量等。
LB-200采用进口高精度光栅尺,Z轴分辨率高达0.1um,以满足用户不同产品的高精度测量需求。
覆盖范围广:兼容多种测量和观察需求
可操作性:操作更简单、更高效
高度测量:实现对样品表面凹凸的高精度测量
测量支持系统:对复杂形状也能简单、高精度地测量
设备测试参数:
| 设备型号 | LB-200 | |
| 测试范围 | 200*100mm | |
| 仪器重量 | 75KG | |
| 金属台面尺寸 | 350*250mm | |
| 外形尺寸 | 700*900*800mm | |
| 玻璃尺 | 230*160mm | |
| X、Y分辨率 | 0.0005mm | |
| Z轴分辨率 | 0.0001mm | |
| 移动方式 | 手动 | |
| 物镜 | 5X,10X,20X,50X | |
| 照明系统 | 200万海康相机 | |
| 照明系统光源 | 3W LED | |
| XYZ定位精准度 | ±0.1um | |
| XYZ重复精度 | ±0.1um | |
| XY测量误差 | (3+L/100)um,“L”为被测长度,单位:mm | |
| Z轴测量误差 | (2.5+L/100)um,“L”为被测量长度,单位:mm | |
| 工作电压 | AC110V-220V | |
| 功率 | 100W | |
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